在工業生產中，臭氧常被用於消毒和淨化水體。但是，由於臭氧有極強的氧化能力，水中剩餘的臭氧如果不被去除會有可能對下一流程有所影響，因此，通常臭氧處理過的水在進入主要的工藝流程之前必須將水中剩餘臭氧去除掉。254納米波長的紫外線對於破壞剩餘臭氧非常有效，它可以把臭氧分解成氧氣。盡管不同的係統所需要的規模不同，但通常來講，一個典型的臭氧消除係統所需的紫外線放射量是一個傳統的滅菌消毒係統的三倍左右。
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